芯片潔凈區(qū)負(fù)壓異常分為負(fù)壓過大、負(fù)壓不足兩類，均會破壞潔凈等級、引發(fā)倒灌、氣流紊亂。負(fù)壓過大多由排煙風(fēng)量過大、補風(fēng)不足、風(fēng)口開啟過多導(dǎo)致；負(fù)壓不足多由管路漏風(fēng)、排煙阻力大、風(fēng)口堵塞、風(fēng)機效率衰減造成。整改需先通過壓差、風(fēng)速、風(fēng)量數(shù)據(jù)定位異常誘因，再針對性調(diào)控：負(fù)壓過大減小排煙風(fēng)量、增大補風(fēng)、縮減風(fēng)口開啟數(shù)量；負(fù)壓不足封堵漏風(fēng)、疏通管路、清潔葉輪、恢復(fù)風(fēng)機性能。整改后動態(tài)微調(diào)變頻參數(shù)，鎖定微正壓標(biāo)準(zhǔn)區(qū)間，杜絕負(fù)壓反復(fù)異常，保障潔凈區(qū)氣流穩(wěn)定、壓力合規(guī)。
英飛風(fēng)機調(diào)速精度高、壓力反饋靈敏，可快速修正負(fù)壓異常問題，精準(zhǔn)穩(wěn)定車間壓力區(qū)間。自適應(yīng)微調(diào)工況，杜絕壓力波動、氣流紊亂、倒灌污染，長效守護(hù)潔凈區(qū)壓力平衡與生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定。
