半導(dǎo)體廠房潔凈風(fēng)平衡調(diào)試是保障車間微正壓、氣流有序、潔凈穩(wěn)定的核心工序,需依托排煙與新風(fēng)系統(tǒng)協(xié)同調(diào)試,實(shí)現(xiàn)全域風(fēng)壓平衡。調(diào)試前關(guān)閉所有門窗、檢修口,保持車間密閉狀態(tài),校準(zhǔn)壓差傳感器、風(fēng)速檢測(cè)設(shè)備精度。通過(guò)分區(qū)調(diào)節(jié)排煙口開度、風(fēng)機(jī)變頻參數(shù)、補(bǔ)風(fēng)風(fēng)量,精準(zhǔn)匹配送排風(fēng)比例,維持車間規(guī)范微正壓,杜絕負(fù)壓倒灌、正壓過(guò)大氣流外溢。逐區(qū)調(diào)試、逐段核驗(yàn),消除局部風(fēng)壓失衡、氣流死角、負(fù)壓區(qū)域。調(diào)試完成后鎖定**運(yùn)行參數(shù),保存系統(tǒng)預(yù)設(shè)工況,區(qū)分消防排煙、日常通風(fēng)、潔凈運(yùn)維三種模式參數(shù),實(shí)現(xiàn)一鍵切換、自動(dòng)平衡,保障長(zhǎng)期潔凈氣流穩(wěn)定。
英飛風(fēng)機(jī)變頻調(diào)節(jié)精度高、風(fēng)量風(fēng)壓輸出線性穩(wěn)定,可精準(zhǔn)配合潔凈風(fēng)平衡調(diào)試,快速鎖定**工況參數(shù)。多模式參數(shù)可預(yù)設(shè)儲(chǔ)存、自動(dòng)切換,常態(tài)穩(wěn)定車間微正壓,火情足額排煙,**適配半導(dǎo)體廠房潔凈風(fēng)平衡管控需求。
